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材料性能 (www91)

项目 规格 www91 - 检测方法 生长方式 直拉法 --结晶性 单晶 --几何尺寸 M10：182，2*182，2*φ247mm M10-L：182，2*183，75*φ247mm 硅片自动检测设备厚度 130±8μm 硅片自动检测设备 项目: 生长方式 规格: 直拉法 检测方法: --项目: 结晶性 规格: 单晶 检测方法: --项目: 几何尺寸 规格: M10：182，2*182，2*φ247mm M10-L：182，2*183，75*φ247mm 检测方法: 硅片自动检测设备项目: 厚度 规格: 130±8μm 检测方法: 硅片自动检测设备

电性能

项目 规格 检测方法 (www91) 电阻率 0，4-1，6 Ω，cm 硅片自动检测设备少子寿命 ≥1000/μs 瞬态光电导衰减法 注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）氧含量 ≤6E+17 at/cm³ 傅里叶变换红外光谱仪碳含量 ≤5E+16 at/cm³ 傅里叶变换红外光谱仪 项目: 电阻率 规格: 0，4-1，6 Ω，cm 检测方法: 硅片自动检测设备项目: 少子寿命 规格: ≥1000/μs 检测方法: 瞬态光电导衰减法 注入水平：5E14cm-3（Sinton BCT-400）项目: 氧含量 规格: ≤6E+17 at/cm³ 检测方法: 傅里叶变换红外光谱仪项目: 碳含量 规格: ≤5E+16 at/cm³ 检测方法: 傅里叶变换红外光谱仪

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